田宇科技股份有限公司
產品
真空加熱爐
電洽
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功能用途 |
TFT-LCD面板制程中，利用熱循環腔體加熱TFT-LCD面板後,透過將腔體抽真空,形成真空環境,使TFT-LCD面板達到客戶要求的製程品質改善。 |
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加熱方式 |
熱風導流系統 |
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使用溫度範圍 |
RT~180℃，RT~180℃≒60min |
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加熱器 |
220V * 3.5KW * 1EA |
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溫度精度 |
± 5℃ |
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溫度控制 |
PID controller |
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腔體材質 |
SUS304 T=12mm |
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設備尺寸 |
內部尺寸：W1100*H900*D800 ( mm )／機台尺寸：W1620*H2240*D1520 ( mm ) |